Tørvakuumpumper har primært følgende former:
Tvilling-laptype
Designet af tvilling-lappetypen minder meget om Roots-pumpens design, som i øjeblikket er den mest populære og mest anvendte type. Faktisk involverede nogle af de tidligste koncepter for tørpumpedesign i det væsentlige at stable flere Roots-pumper sammen. Dette flertrinsdesign resulterer i en ret kompleks gasstrømningsvej, og hvert trin kræver en betydelig strøm af nitrogengas for at fungere som både et fortyndingsmiddel og en barriere. For at opnå en høj grad af vakuum kræves der desuden ekstremt strenge tolerancer med hensyn til afstande mellem trinene. Selvfølgelig, fordi dette design øger det interne kompressionsforhold, er dets strømforbrug relativt lavt.
Tri-Lobetype
Driftsprincippet for tri-lobe-typen er identisk med twin-lobe-typen; den eneste forskel er, at gassen under en enkelt rotation opdeles i tre diskrete pakker-i stedet for to, som det er tilfældet med tvilling-lobdesignet. Følgelig deler disse to designs det samme sæt af fordele og ulemper. For yderligere at reducere strømforbruget vælger nogle producenter at anvende to jævnstrømsmotorer i drivmekanismen; denne fremgangsmåde resulterer dog også i reduceret drejningsmoment og en formindsket kapacitet til at genstarte pumpen. Som med tvilling-lobe-designet kræver hvert trin i tri--lobedesignet en betydelig strøm af nitrogengas for at udføre fortyndings- og isolationsfunktioner.
Hybrid type (rødder + klo)
Hybrid-designet (Roots + Claw) anvender et Roots-trin til at forbedre pumpeeffektiviteten ved lavere trykniveauer, mens der anvendes et Claw-trin til at øge effektiviteten ved højere trykniveauer. Dens grundlæggende driftsprincipper og gasstrømningsvej er identiske med de førnævnte lob--designs. Nogle producenter vælger dog at erstatte det sidste trin med et "stjerne-type" design; denne konfiguration tillader, at gassen kan opdeles i fem diskrete pakker pr. rotation-meget på samme måde som tri-lobe-designet deler den i tre. Tilsvarende i mange komplekse procesapplikationer kræver hvert trin af hybriddesignet en betydelig strøm af nitrogengas for at tjene som et fortyndingsmiddel og en barriere.
Ekstern kompressionsskruetype
Designet til den eksterne kompressionsskrue- anvender et par skruer med samme afstand. Denne konfiguration minimerer intern kompression og skaber samtidig den kortest og enklest mulige gasstrømningsvej. Følgelig holdes gassens opholdstid i pumpekammeret på et absolut minimum. Selvom dette design medfører et relativt højere strømforbrug på grund af dets reducerede interne kompressionsforhold, viser det enestående stabilitet og pålidelighed i en lang række komplekse halvlederfremstillingsprocesser. Dette enkelt-design stiller minimale og enkle krav til nitrogenforbrug og sikrer derved fremragende udskiftelighed på tværs af forskellige processer. I mange rene processer kan brugen af nitrogen endda helt undværes.
Internt komprimerende skruepumper
Bortset fra at bruge et par ikke--isoparametriske skruer, ligner de grundlæggende driftsprincipper for det indvendige komprimerende skruepumpedesign i høj grad dem for det eksternt komprimerende skruepumpedesign. Den kontinuerlige reduktion af volumen mellem skruerne genererer intern kompression. Ved at lette denne interne kompression reducerer dette design strømforbruget til et niveau, der kan sammenlignes med flertrinspumper. I mange processer-ligesom med flertrinspumper-er denne interne kompression imidlertid meget tilbøjelig til at inducere fysisk-kemiske ændringer i gassen i pumpelegemet, hvilket potentielt kan føre til størkning eller fortætning.
